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啟天中型等離子設備（電漿清洗機）廣泛應用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。 啟天等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等。可選擇多種射頻電源發(fā)生器，以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。主要應用于LCD、LED、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產領域。 所有元器件及核心部件采用進口，保證了整機的穩(wěn)定性和使用壽命。 真空泵采用進口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系，在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小。 自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過程實時監(jiān)控，并顯示運行狀態(tài)、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間紀錄，適合維護，可以提供工藝參考。 可存儲50組工藝配方，隨意調用。 清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設定可調。 工藝參數(shù)受密碼保護，分級密碼管理查詢。 一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清洗結束提示等。 自動提醒系統(tǒng)維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。 氣體質量流量計采用美國進口，由模擬量輸入輸出，量程為0～200sccm可在量程范圍內無級調節(jié)，根據(jù)特殊的工藝要求可用PLC對質量流量計進行PID調節(jié)而實現(xiàn)真空度的控制。 根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過濾器，過濾返油裝置等。電極結構（已申請專利）的高等離子通量設計能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。